レジスト前処理研磨での穴周りの流れるような錆びに…

質問

レジスト前処理研磨での穴周りの流れるような錆びについて。

レジスト前処理で４軸のオシュレーション研磨機で表裏を研磨しますが、研磨　→　水洗　→　給水ローラー　→　エアーカット（エアーカーテン）→　乾燥　の流れで排出されますがでてきた品の穴周りを見ると後ろへ流れるように穴から水のスジがさびのようになってあらわれます。
水洗の水は普通の水でエアーカットは先に上から下へ出るのが１本、次に下から上へ出るのが１本です。
錆びは製品の下にでます。上にはほとんどでません。0.3mmから0.7mmの穴で実験しましたが0.3から0.5でよくでる傾向です。
搬送スピードを早くしたり遅くしたりしても結果はさほどかわりませんでした。
機械メンテナンス屋はエアーが弱いからと言ってますが、高い品なので交換しても違うかったとなりたくないのでここで質問させてもらいます。
下手な文ですがよろしくお願いします。

回答No.1

noname#230359

設備や錆の発生状況の詳細は判りませんので、想像して回答致します。
錆は穴に入った水が原因だと思います。穴径が小さいと洗浄時に水が
入りにくく、また穴径が大きいと入った水が穴から出やすいので、
結果的に、0.3mmから0.7mmくらいがTH内に残り易いと考えられます。
対策としては、吸水能力upとｴｱｰ力upに尽きます。
吸水ﾛｰﾙの段数増し、接触面積の確認（劣化による吸水不足が以外に多い）
など。ｴｱｰｶｯﾄについては、ｽﾘｯﾄ幅や板までの距離で大きく違ってきます。
この辺を確認してみては如何でしょうか？
また、錆については、水の質による違いなども必要かも知れません。

お礼

早速の回答ありがとうございます。
吸水ローラーは３段ですべて交換してもだめでした・・・
エアーの距離などを再確認してみます。
またよろしくおねがいします。
ありがとうございました。