テフロンチューブで純度99.9999%のN2を供…

質問

テフロンチューブで純度99.9999%のN2を供給して大丈夫か？

担当している装置でN2を使用しています。目的は光学レンズの曇り防止のためです。N2の供給純度は99.9999%を保たなければならないのですが、テフロンチューブを使用してこの純度は保たれるでしょうか？使用しているテフロンチューブの径は1/4inchを使用しています。距離は10m程です。
SUS管を使用したほうがいいのでしょうか？

回答No.1

noname#230359 · ベストアンサー

planetです。
常温・常圧での話ですがsix9の高純度Ｎ2 GASであれば、純テフロンチューブで可能ですが高純度ガス用クリーンチューブを使用すればＯＫ。（洗浄してパッケージされている）
成形時に離形剤や可塑剤を使用したテフロンもどきもありますから、チューブ屋さんに目的をはっきりして注文すれば大丈夫です。
継ぎ手を使用するときはパッキン材に注意しましょう。
ステンレスチューブは管内部がブライトアニール処理されたものであれば確実に使用できます。（森ステンレスなどで製造されていると思います）
配管後はＮ２で洗浄してからＧＣなどでチェック後ラインへ接続します。
なお、高温の場合はＳＵＳを使います。
テフロンが分解してガス発生などがあることがあります。
ご参考まで。

距離１０ＭではテフロンでもおそらくＯＫですが、確実性を求めるならＳＵＳ配管を行った方がいいでしょう。
３Ｍ程度で流速が速ければいいでしょうが。

お礼

返事が遅くなりまして申し訳ございません。
アドバイスありがとうございます。常温・常圧で使用します。