振動の抑制

質問

微細画像検査に向けて、極力振動を生じない検査ベースを検討しております。目標としては変動を1μm以内に抑えたい。まずは石定盤を使って剛性のある構造に考えますが、何か他に良い方法ご存じないでしょうか。

回答No.3

noname#230359

PLANETです。
詳細な装置構成が分かりませんが、自分が発生する振動か他からもらう振動かで構成が変わります。
質量で振動を押さえ込む方法もいいですが、私どもでは砂で石定盤を浮かしています。
高倍率画像装置もセミミクロ天秤も同様の構造です。
具体的には、枠の中に８０ＭＭほど砂を敷きその上に石定盤をのせて水平をとってから周りも砂をきちんと詰めます。
砂の表面はウレタンレジンで固めています。
かなり調子はいいですが、この手が使えるかは分かりませんのでご参考まで。

回答No.2

noname#230359

なにか昔のレコードプレーヤーの防振議論を思い起こしますね。
防振に大事なのは剛性だけではなく振動の減衰能です。いかに一度起きた振動を鎮めるかが大事です。行き着いたところは木が一番だったような。あとホームセンターなどに行くと車用の制振シートが売ってます鉛とゲル状樹脂のサンドイッチ構造のシートです。防振、制振、免震、と機能を分けて考える必要があります。

お礼

回答ありがとうございます。木とはびっくりですね。
防振、制振、免振の機能分けの手法はある程度標準的な手法はあるのでしょうか？それとも試行錯誤的なものなのでしょうか？

回答No.1

noname#230359

そのベースの上に、移動テーブル、ワーク、カメラが乗る格好ですか?
それとも、ワークはベースの上に静置して動かしませんか? ワークの重量や置く方法(ハンドリング)も教えて下さい。

　そうするとインデックスの駆動やXY補正による振動が一番大きそうですね.
静定時間はどの位とれますか?
　石定盤より、まず、金属ベースに剛性高く諸要素を構築した上で防振となりそうですね。

補足

早速の回答ありがとうございます。ベース上には８ステージぐらいのインデックステーブルを配置する予定です。カメラか各ステージどちらかにＸＹθ補正を付けようと考えてます。ワーク供給収納は別フレームからロボットアームで吸着ハンドリング、ワークは電子部品でサイズは□10mm、重量は数gです。