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UVテープの硬化とエキスパンドの関係、N2デシケータ保管の問題、そして有効期限についての質問
- UVテープはUV照射によって硬化し、粘着力を弱める原理で作られています。しかし、エキスパンドには不利な影響を与えることもあります。UVテープが日を置いて繰り返しエキスパンドを行った場合、テープが破れることもあります。
- UVテープにウエハを張り付けた状態でN2デシケータ保管は望ましくありません。N2雰囲気のデシケータ内ではテープが乾燥し、破れる可能性があります。ウエハの保管には他の方法を検討するべきです。
- UVテープの有効期限は、通常はUV照射の効果が得られる期限を指しています。また、粘着力や耐エキスパンド性の劣化がある場合もあります。
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はじめまして。下記にご返答します。 ?に関して これはテープではなく、接着層に対してのものです。 従って、エキスパンド性には関わりありません。 ?に関して Ｎ２のデシケータに入れることによるテープへの弊害はありません。ウエハ保管を考えてもＮ２デシケータが適切です。 ?ＵＶテープの有効期限は主に接着性に対する有効性 を指します。 ＵＶテープに関わらず、ダイシングテープには、エキスパンドタイプとノンエキスパンドタイプがあります。内容を察するに、貴殿の工程はエキスパンド性を要している様ですから、エキスパンドタイプを選択すする必要性があります。エキスパンド性はテープの基材で決定されます。一般的には 【エキスパンドタイプ】 ・ＰＶＣ（塩化ビニール） ・ＰＯ（ポリオレフィン） 【ノンエキスパンドタイプ】 ・ＰＥ（ポリエチレン） エキスパンド量が多い場合は、ＰＯよりもＰＶＣをお勧めします。但し、ＰＶＣは環境負荷物質ですからＩＳＯ１４０００等を取得している場合や客先等と環境負荷に関して締結している場合においては取り扱いに注意が必要です。現在使用の材質が何であるのか不明ですが、もしエキスパンドタイプであれば、ダイシングでのカッティング条件（フルカット時のテープへの切り込み量）ダイボンディング時のエキスパンド量の条件見直しが必要でしょう。
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エキスパンド品とのことですから、破れに対して照射条件や保管条件は関わり無いと考えます。 この場合、過剰なエキスパンドに問題があるものと思われます。 一旦エキスパンドを行なった物に対して１０回以上も繰り返しエキスパンドを行なうのは好ましくありません。エキスパンドを行なう事により、その都度テープには過大な引っ張り力が加わりますから、繰り返し作業時におけるテープへの傷発生やダイシング時の切り込みバラツキによる深さ大の箇所へ負荷が集中し、そこを起点に破れるものと推測します。 私の経験上、３回程度までが許容値であるものと考えます。ちなみにＵＶ後長期保管で破れではなく、テープからのＩＣ脱落は発生していませんか？ 可能であれば、ウエハーはエキスパンド１回分毎に マニュアルダイシングにて分割切断して、使用分だけ テープへ再マウントしてダイシングを行なって使用するのが得策でしょう。作業効率上問題があるのであれば、ウエハーを２分割して現状の１／２のエキスパンド回数にする等の工夫も考えられます。 再度述べますが、ＵＶ後半年間で１０回のエキスパンドは好ましくありません。
お礼
ありがとうございます。 単純に使用限度を超えたということですね。 量産用に入手したウエハを結局、実験などで小分けにして使用していたため、半年で10回程度と普通じゃない使い方をしてしまいました。 以後気をつけます。
以下のURLが参考になるかと思います。 事業部は違いましたが、元社員です。
お礼
ご紹介ありがとうございます。 参考になりました。
お礼
とてもわかりやすいご回答ありがとうございます。 ところで、エキスパンドを繰り返したら（日を何日かまたいでいますが）破れた経験があります。これは何故なんでしょうか？使用したテープはエキスパンドタイプであるはずですが、保管環境・UV照射条件・エキスパンド条件が不適切なのでしょうか？ 日数：半年以内 エキスパンド回数：10回程度 保管環境：N2デシケータ