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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：DLC加工について）

DLC処理によるSUS304の範囲限定加工の可能性について

このQ&Aのポイント
  • 0.07(t)のSUS304にDLC処理を範囲限定で行いたいと考えています。
  • 処理範囲は、L寸250mm W寸20mmに対し3mm程度で両面です。
  • DLC処理によるSUS304の範囲限定加工を行うことが可能かどうかを知りたいです。
noname#230358
noname#230358

質問者が選んだベストアンサー

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noname#230359
noname#230359
回答No.1

マスクは可能ですが、DLCは大変応力が大きいため、 膜厚次第では基材がロールします。処理温度は、約200℃程度ですので、金属で挟み込むようなマスクを作る必要があります。マスク精度がどの程度かで、マスク治具の設計考慮が要ります。また、レジスト等をマスク用いて、露光パターニングを施し、空いた部分に成膜する方法もありますが、かなり高価になります。

参考URL：
http://www.nippon-itf.co.jp
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