窒化珪素の加工について

2002/05/30 16:23

このQ&Aのポイント

窒化珪素の加工について試験的にちっ化珪素の溝加工を行っているがインターナルが折れる問題が発生している。加工条件や加工用具についてのアドバイスを求めている。
窒化珪素の加工において、試験的にちっ化珪素の溝加工を行っているが、インターナルがφ1・2では100％折れ、φ5でも折れることがある。適切な加工条件や加工用具についての情報を求めている。
窒化珪素の加工について、ちっ化珪素の溝加工を試験的に行っているが、インターナルの折れる問題が発生している。φ1・2では100％折れ、φ5でも折れることがあるため、適切な加工条件や加工用具についてのアドバイスを求めている。

noname#230358

マシニングセンター
回答数4
ありがとう数0

みんなの回答 （4）
専門家の回答

みんなの回答

noname#230359

2002/06/03 23:26 回答No.4

nomuraさんのおっしゃるようにワークを立てて固定し、厚み1.2ｍｍの円盤状砥石を使用して加工できないものでしょうか？あくまでインターナル、 φ1.2ｍｍ軸付き砥石を使用しての加工となると、この場合、かなり難易度が高いと思われます。ワーク厚みが0.95とのことなので、溝の深さはそれほどでもないということなのでしょうか？もしもこの状況で私が加工するならば・・・１、砥石は電着軸付き砥石、粒度200番以下、　　シャンク材は焼き入れ鋼もしくはハイス鋼、　　砥石端面中心に凹アリ、　　シャンクの長さは加工可能な限界まで短く。２、出来るだけ多くの研削液を供給もしくは、　　ワークの周囲を何かで囲い、　　研削液の中にどぶづけした状態で加工。３、加工条件は砥石回転10000ｒｐｍ以上、　　Ｚ軸方向の切り込み量0.0020.005、　　切削送り速度Ｆ50100程度　　（状況によってはもっと遅く・・）。４、砥石を数本以上用意し、　　出来るだけ安全圏内で早めに砥石を交換する。５、ワーク上面はチッピング（微細なカケ）　　が発生する可能性が高いので、　　エッヂ部に面取りが出来ない場合、　　あらかじめワークの厚みを　　少し厚めにしておき、溝加工後に　　厚み加工を再度おこなって　　チッピング分を除去する。などで対応すると思います。とにかくシャンクの耐久性がポイントになりますので、神経を使う加工であることには間違いありません。また、世間にはmr-kさんが紹介するような超音波による加工や、他には単結晶ダイヤのエンドミルなどといった物が存在し、そういったものの活用も充分に考えられます。がんばって加工してみてください！！