ダミーウエハーを扱っているメーカ

質問

ダミーシリコンウエハーを扱っているメーカを教えてください。
56インチ、シリコン、厚さ300um前後。
よろしくお願いします。

回答No.4

noname#230359

弊社でも５インチでしたら加工可能かと思います。ただし、どの工程までの加工を考えておられるのか、、。５インチで鏡面仕上げですと結構シビアです。ラッピングまでなら十分可能です。

回答No.3

noname#230359

弊社お得意先でダミーウェハ加工可能です。
φ６インチ　表面ミラー／裏面エッチド　厚さ３００μmは難しくないと思いますけど。
下記URLを参照して、メールにてコンタクトしてください。

参考URL：

http://http://island.qqq.or.jp/hp/aki/

回答No.2

noname#230359

ウエハーの入手はされましたでしょうか？
弊社ではダミーウエハーを含めて加工を行う手段があります。
５６インチのシリコンであれば厚さは如何様にも加工できます。

参考URL：

http://www.idea-gr.co.jp

回答No.1

noname#230359

ユニチカさんが発売されています。

参考URL：

http://www.unitika.co.jp/shinki/cw02.htm

お礼

早速の回答、どうもありがとうございます。
でも、ちょっと厚いんですよ。
300um程度のウエハーを使用したいんです。