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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SU-8(100)について）
SU-8(100)の使い方と条件について
このQ&Aのポイント
- SU-8(100)は１００ミクロンの厚さのレジストを塗るための薬品です。
- スピンコートの回転数、Soft Bakeの時間と温度、アライナの露光条件、Post Exposure Bakeの時間と温度について詳細を知りたいです。
- アライナの最高出力は１３mWです。
noname#230358
- 電子部品・基板部品
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noname#230359
回答No.2
以下のURLに各種SU-8の各条件が載っています． 英語ですが・・・．
noname#230359
回答No.1
初速：500rpm 3秒 ｽﾛｰﾌﾟ：5秒 本速：2000rpm 30秒 Soft Bake 65度 10分 そのまま温度を上げる 95度 40分 そのまま常温まで放置 露光：20～25秒 露光後Bake:常温から温度を上げて行く 65度 5分そのまま温度を上げる 95度 になってから15分 そのまま常温まで放置 現像：SU-8ﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ 10～15分 ﾘﾝｽ：ｲｿﾌﾟﾛﾋﾟﾙｱﾙｺｰﾙ 2～5分(浸した時に白く濁るようならばﾃﾞﾍﾞﾛｯﾌﾟ追加） 乾燥：ｴｱ･ﾌﾞﾛｳ 以上のやり方は目安とお考えください。あくまでも露光後の結果にて 条件を変えてください。
