- 締切済み
Siを主成分として含む酸化物で、誘電率が高い物質は
Siを主成分として含む酸化物で、誘電率が高い物質は何がありますか？
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
みんなの回答
- shintaro-2
- ベストアンサー率36% (2266/6245)
回答No.1
>Siを主成分として含む酸化物で、誘電率が高い物質は何がありますか？ 一般にはSiON膜ですが そもそも 誘電率が高いというのはどれくらいを意図されています？
総ありがとう 4,852 万
Siを主成分として含む酸化物で、誘電率が高い物質は何がありますか？
>Siを主成分として含む酸化物で、誘電率が高い物質は何がありますか？ 一般にはSiON膜ですが そもそも 誘電率が高いというのはどれくらいを意図されています？
補足
ありがとうございます。 誘電率が高いというのは30以上くらいを意図してます。