スパッタイオンポンプでの希ガスの排気原理

質問

スパッタイオンポンプでアルゴンやヘリウムなどの希ガスを排気するメカニズムがわからないのですが、教えてください。
イオン化された希ガスが陰極で捕らえられる、まではわかりますが、その後スパッタ原子に埋め込まれるというのがわかりません。陰極にあたった時点で電子を得て再びどこかへさまよいそうに思います。
また、「希ガスイオンが陰極表面で電荷だけを失い、運動エネルギーの大半を保存したまま、高速中性粒子として散乱される」というのもわかりません。

回答No.1

nananotanu · ベストアンサー

原理を勘違いされていますね

イオンでたたき出された「清浄な」チタン分子が、その性質として「気体分子を吸着」して、溜め込むんです。シリカゲルが水分を吸着して湿気を取るようなイメージでしょうか。

例えば、ターボ分子ポンプのように気体を「排気して」取り除くんじゃないですよ
　＞＞＞だから、高真空にしか使えない。

http://www.shinku-pump.com/vacuumpump/sputter_ion/