ワイヤボンディングでの不具合[GOLF CLUB…
ワイヤボンディングでの不具合[GOLF CLUB形状頻発]
初めまして
とあるセンサの組立工程を担当しています。
電気特性確保の制約上 チップtoチップ
ボンディングを実施しているのですが、1st側
のボールボンド形状がゴルフクラブ状になって
しまう不具合が頻発して困っています。
チップ側のPAD材質はアルミです。
製品全体ではもちろん、通常のチップtoリード
(Auメッキ)のボンディングも実施しているの
ですがこの部分では上記の『クラブ形状』は発生していません。
ボンダのステップ送り機能でボンディング状態を
観察しているとアルミPAD上に2ndボンディングし
た後のボール形成時点で、Auワイヤに対し偏心して
ボールができているように見えました。
このことから、可能性として
1)2ndボンディング→ワイヤカット後
のテール先端の形状が不安定?
→ボール形成が同心円状に進まない?
2)テール先端にアルミ粉が付着
→Au溶融時にアルミが溶け込み
凝固する際にアルミが種となり
偏心して固まってしまう?
3)単にワイヤのキャピラリ吸い込み力
が不足しているだけ?
等を考えています。
まずは、1)2)に対し、ロバストな
トーチの放電条件があるかもしれないと考え
色々実験しておりますが、うまくいって
おりません。
今後は、3)に対しての対策・確認実験を
進めようとしている所です。
あらぬ方向に検討を進めても、回り道になって
しまうため、一度、経験豊かな皆様のご意見を
伺いたいと思いこの投稿をしました。
ボールボンディングで『クラブ形状』発生の
原因・対策方法についてアドバイスをお願い
致します。
因みにボンディングツールは
Gaiserの1572-17S
ワイヤは FA32μm を使用しています。
2nd側のアルミ材質は AL(Si、Cu含有)です。
+++++++補足ですが++++++++++
Au線先端にアルミ粉を付着させるとほぼ
全数、ボール形成の偏心現象は再現できます。
ただし、アルミが存在することの影響なのか
テール先端形状の不均一性の影響なのかは
切り分けできておりません。
また、設備条件は特に変更していないのですが
『クラブ形状』の発生頻度は大きく振れている
のが現状です。多いときは1%(ワイヤ当たり)
程度になりますが、少ないときは0.1%以下に
自然と減ってしまいます。
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