低温ポリシリコンTFTと高温ポリシリコンTFT

質問

液晶で使われているTFTですが、低温ポリシリコンと高温ポリシリコンの2種類があるようですが、悌夫運と高温のメリット・デメリットを教えてください。なぜ低温でないといけないのか？なぜ高温でないといけないのか？それぞれ用途が違うのでしょうか？分かりやすく解説しているサイトなどをご紹介いただけるとありがたいです。

回答No.1

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ガラス基板にポリシリコンを成膜しようとすると通常は1000度ほどの
なります。このような高温に耐えられる高価な石英ガラス基板を使用
しなければならず、コストがかかるため1000度よりは低温（500～600度）
で成膜出来るようにしたのが低温ポリシリコンと呼ばれるものです。

高温は低温に比べて電子移動度がいいのですがコストがかかり、大画
面化が難しいです。

低コストで大画面化が容易で量産に向いてる、低温ポリシリコンが普及して
ます。

http://k-tai.impress.co.jp/cda/article/keyword/8286.html

参考URL：

http://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%B6%B2%E6%99%B6%E3%83%87%E3%82%A3%E3%82%B9%E3%83%97%E3%83%AC%E3%82%A4