サファイア及びシリコンのインゴットをスライスする際に生じる削りカスにお

質問

サファイア及びシリコンのインゴットをスライスする際に生じる削りカスにおいて、発生してはいけない物質はございますでしょうか。当方、レジンタイプのダイヤモンド工具について勉強中ですが、使用して良いポリマーの成分を調査中です。漠然としたご質問で、大変恐縮ですが、ご教授の程宜しくお願いいたします。

回答No.3

TEOS

駄目なのは、他の回答に出ていた、ドライ状態で切る事。粉塵も舞います。削る工具も熱を持ちます。
切り出し面も荒れるはず？？

宝石の研磨を見たこと無いですか？Ｗｅｔ状態で、砥石で研磨してます。
サファイヤは宝石と考えて、　シリコンは、金属シリコンで組成が均一？　シリコンウエハーの切り出す前の
物でしょうか？　　機械を買うと思いますが、研磨剤は、ポリマーなんですか？
シリコンウエハーみたいに、鏡のように磨くなら、特殊シリコンから作った、粒径が均一な細かいシリカで、
エマルジョンのようにして、連続チャージして磨きます。　薄い平面板を切り出すのは、ダイヤモンドカッター
でしょうか。高圧水で切る方法も有ります.　　この場合のインゴットはどんな感じの物ですか。

私もウエハーのスライスカットの機械は。見たことが有りません。
中間品のウエハー研磨の実験はした事が有りますが、水平がうまくでず、均一に磨くのに。苦労しました。
１０分間で、１ｍｇも減らなかった。　オンボロの機械でしたので。

回答No.2

swisszh

１）スライスする際に手でなく、動力にモーターとか、グラインダーなど使用すると、表面が高熱になって小さな塵、とか、悪臭がでるでしょうか？
２）ミクロの塵は体内に入ると、レジンにしろ、ポリマーにしろ、無機物にしろ、健康にはよくありません。体内にはいらないように、マスク、保護めがね、手袋はぜひ使用して。
３）スライスや、グラインダー工程で、臭いがでている場合は、表面が高温になって、レジン、ポリマーなどが熱分解している傾向にあり、（ごく少量）、融点の高いポリマーを使用するとか、ネットワークしたレジン（例、エポオキシ系）等で、高温に耐えるものを使用して。臭いを体内に吸収しないように
特殊なマスクを使用
４）ただ大量に長時間の労働の場合は、新鮮な空気の管理、塵の吸収施設など重要になってきますが、少量で、短時間の場合は、塵、臭いの吸収に掃除機のように空気をとることでいいかも。
５）レジン、ポリマー自身はミクロの塵以外、大きな塵は問題ないはずです。、

回答No.1

noname#160321

>生じる削りカスにおいて、発生してはいけない物質
意味不明です。サファイアのインゴット(単結晶「モノリス」のことか？)からはサファイアのクズ(実際には結晶性アルミナのクズ)しかできないし、シリコンのモノリスを削ってもケイ素の屑しか出ません。
「してはいけない」とはどういう意味でしょう？