真空漏れについて

質問

ロータリーポンプとターボ分子ポンプで真空を引いています。しかし、２＊１０＾－６Torr以上真空度がよくなりません。以前は１．５＊１０＾－７Torr程度まで引けていました。エタノールをいろいろな箇所にかけてみましたが、全くわからずに困っています。

回答No.2

vacation99 · ベストアンサー

昨年の２月からその装置を使っていないと言うことですか？
だとすれば、そう簡単に10^-7Torrにはならないと思います。（ポンプの性能にもよりますが）
数ヶ月も放置すれば、真空容器の内側に水分子等がびっしりこびりついていると思います。
装置に異常無いなら、数日ポンプ引きっぱなしにすれば10^-7Torrまで引けるのではと思います。
まさか、真空容器内に指紋をつけたり、水分子等の揮発性のある試料を入れたりしてないですよね。

お礼

回答ありがとうございます。真空容器内はきれいにしてあります。それではポンプを数日引きっぱなしにしてみます。

回答No.3

kuniuni

リークが考えられるのでしょうか？このくらいの真空度でのリーク個所の検出には、エタノールではつかまえられません（確か）。Ｈｅガスを利用したリークディテクターなどが必要です。リークディテクターがないなら、めくら蓋を使って、漏れ個所を見つけるのが意外と早道であることもあります。

放置が原因ならば、ベークするというのも手です。ベークの経験がないならば、下調べや経験者に教えてもらう必要があると思います。（あまり、ばっちいチャンバーを焼くをよけいわるくなるので、要注意。）

お礼

エタノールは使えないのですか。。ベーキングも検討してみます。

回答No.1

hi_ymkw

以前の状態がいつの状態かわかりませんが、とりあえず、ポンプを冷却することをお勧めします。

補足

以前の状態というのは昨年度の２月ごろの話です。ポンプの冷却はターボについてはファンで冷却しており、触ってみても特に熱はもっていないようなのですが。。