表面形状か表面積の測定がしたいですが測定方法がわからないので測定方法を教えてください

質問

シリコン基板上に加工を施し，作製した微細凹凸構造(サイズミクロンオーダー)の表面積の増加率を調べたいのですが，どのような方法がございますか？

以上，宜しく御願いします．

回答No.1

trytobe

次のような方法を参考に、表面積の測定に用いられる手法や装置を検索されてはいかがでしょうか。

吸着の科学（細孔容積と比表面積の測定）
http://www.unichemy.co.jp/GihouBackNm/htmVol40-2/gihou40-2.htm

自動比表面積／細孔分布測定装置日本ベル株式会社
http://www.nippon-bel.co.jp/product/product_04.html

お礼

御回答ありがとうございました．
BET吸着による表面積測定方法は知っておりましたが，
御回答によりこの方法が一般的であることがわかりました．

参照先のページなどを参考に検討していこうと
思います．ありがとうございました．