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RF漏洩を調べるには?
半導体製造設備でRF(13.56MHz)を取扱っています。 ごくまれにRF漏洩と思われるトラブルが発生します。 主にコネクタ部の施工不良が原因と考えていますがハッキリしません。 RF漏洩を計測する測定器などは存在するのでしょうか? 電子レンジなどのマイクロ波の漏洩量を計測するような簡単なものが ほしいのですが。 何か良い製品をご存知の方は教えてください。 なるべくメーカーと型式もお願いします。
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半導体製造設備でRF(13.56MHz)を取扱っています。 ごくまれにRF漏洩と思われるトラブルが発生します。 主にコネクタ部の施工不良が原因と考えていますがハッキリしません。 RF漏洩を計測する測定器などは存在するのでしょうか? 電子レンジなどのマイクロ波の漏洩量を計測するような簡単なものが ほしいのですが。 何か良い製品をご存知の方は教えてください。 なるべくメーカーと型式もお願いします。
お礼
アドバイスありがとうございます。 電界強度計を買って試してみます。 短波ラジオも面白そうなので試してみます。