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半導体製造装置の実験業務とは？
半導体製造装置の研究開発部門での実験業務について教えて下さい。 東京エレクトロンなどの半導体製造装置を開発している研究開発部門では、日々実験などされていますが、クリーンルーム内での実験業務は、どんなことをしているのか、知っている方は教えて下さい。 より細かい内容を教えて頂ければ助かります。 どんな実験機を使い、どんな実験をして、どんな成果を出すかなど 教えて下さいっ。
- abcnomo
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質問者が選んだベストアンサー
たとえば、条件（時間、パワー、温度etc）を変えて、半導体の処理（成膜、エッチング、アニールetc）をしてみるわけです。その条件で得られた結果をプロットしてみて、ここが最適だ、と結論つけるようなことを日々やっていると思ってください。もちろん、それらの日々の中にはトラブル対応もあり、新しい実験機の導入、雑用、客先対応もありと同じ1日はないのです。
お礼
ありがとうございます。 予想していたものと少し違いました。 勉強になりました。