V溝形状の測定

質問

微細加工の研究をしています．
微細V溝を形成しているのですが，どのようにして側面の表面粗さを測定できますか？
頂角：約90度
溝深さ：10ミクロン　，100ミクロン程度

専門の方よろしくお願い致します．

回答No.1

leo-ultra

専門の者ではありませんが、

１）精度からいうとＡＦＭ（原子間力顕微鏡）がいいのだけれど、溝幅が100ミクロンのオーダーですか、
すると余裕を見て、数百ミクロンの範囲は測定できなければならないでしょうから、ＡＦＭはきついかな。

２）いわゆる表面段差計（固有の商品名かもしれませんが、デクタクとか呼ばれるもの）がよろしいのでは。

３）断面が容易に切り取れるのであれば、ＳＥＭなどで断面像を観察する方法もあるかもしれません。