- 締切済み
石英部品の洗浄
カテゴリが合うかどうか分かりませんが、よろしくお願い致します。(半導体関連なので、こちらが一番近いと思いましたので) で、質問ですが。 石英部品の洗浄に弗酸、硝酸溶液を用いておりますが、濃度をどのくらいにすればよいのかよろしければご教授いただきたいと思います。(洗浄の目的はパーティクル、微量金属の除去で、使用している弗酸は50%、硝酸は60%のものを使用しております)どのくらい薄めればよいのか?です。 研究室の人間に聞いても皆まちまちでして。
- みんなの回答 (1)
- 専門家の回答
みんなの回答
- moonmist
- ベストアンサー率32% (113/350)
回答No.1
お礼
ご回答ありがとうございます。薬液管理上、統一できればと思いまして。 >問題は「濃度」ではなく「ちゃんと洗浄できているか」ですよね? まったくその通りです。できれば私もそうしたいのですが、パーティクルチェッカーなどの装置がないので業者さんに何度も委託するとか、費用の面でちょっと難しいかな?と思っております。