位置決め自動機の大理石

質問

ある中国のメーカーで、位置決めの半導体装置で、架台が大理石でできているのですが、これは普通でしょうか？大理石の検査定盤はみたことあるのですが、ボールネジやサーボで制御する架台に日本だと金物フレームだと思うのですが、この中国のメーカーは大理石のコ型のアーチなどでボールネジやLMガイドを固定してサーボを動かして制御しています。これは普通なのでしょうか？

回答No.4

wave1645256

石を使って軸の固定部分などに使うのは、一般機械でなら普通ではありません。
ですが、絶対的にやってやっていないというより、そうした方法を国内ではしないというよりも石の扱いや入手や管理などといった事が別に必要で、余分な手間と時間とお金も多く必要で、しかもそれなりの石では金額的にも日本は高すぎて他の材料で作った方がいいからです。
デメリットも多く日本ではそうした石での精密加工を出来ても1個の単価がかなり高額となるでしょう。まぁ半導体装置では普通な部分もあるとは思います。高額になっても精度や利点で機器であればその一つは半導体装置にあるというだけ。

回答No.3

cyan3

大理石では無く御影石ではないですか
何でもありなので石定盤のの方が素晴らしく見えるのでは

回答No.2

TIGANS

普通かと言われると普通ではないと思います。
大理石は台所や調理関係では定番の素材ですが
半導体製造工程で使うには柔らかすぎてコンタミの原因になるんじゃないかな。見た目が大理石っぽい合成樹脂素材じゃないでしょうか。
岩石素材だと御影石を使ったウェハの反りなどを見る検査定盤くらいしか見たことないです。
半導体製造工程では加工工程以外は室温管理していますでしょうし
熱膨張係数を気にする精度の装置なら補償機構が付いているかと。

そもそもLMガイドは金属製ですよね？架台を金属じゃない大理石にしても温度変化で曲げ応力がかかるだけでメリットがある気がしないのですが。

回答No.1

iijijii

大理石より安くて物性に優れた花崗岩ではないでしょうか？
https://www.google.com/search?q=%E8%8A%B1%E5%B4%97%E5%B2%A9%E6%B8%AC%E5%AE%9A%E3%83%84%E3%83%BC%E3%83%AB
一般的な金属より熱膨張係数が低く、岩石の中では歪が出にくく硬めなので利用しているのかと思われます。
欠陥がない良質な原料が採掘できて、かつ精密加工設備が整ってないと作れないので一般的では無いでしょう。