分圧とは？

質問

蒸気圧や分圧の考え方を教えてください。
例えば蒸着のようにある金属を蒸発させる場合、チャンバー内が真空でなく、当該金属の蒸発気体濃度が高い場合、分圧が高い状態との認識で良いでしょうか？ またその場合は固体金属からは蒸発し難くなるのでしょうか。
分かりづらい内容ですみませんがよろしくお願いします。

回答No.1

skydaddy · ベストアンサー

蒸気圧：物資が蒸発する圧力
分圧：いくつかの物質が気体であるとき、その一部の物質の圧
分圧が高い：比較する圧力に対して、ある物質の分圧が高い

＞固体金属からは蒸発し難くなるのでしょうか。？
固体が蒸発して飽和状態になると見かけ上それ以上蒸発しません。（蒸発（昇華）と析出（固化）が同じ量になる）

＞分圧が高い状態との認識で良いでしょうか？
蒸発するに従い、その物質の分圧はあがります。従って、その物質の濃度が上がると、分圧も高くなると言えます。