クリーンルーム内搬入装置の清掃方法を教えてください

質問

電子部品や半導体部品の製造装置をクリーンルーム（クラス1000程度）に持ち込む際、前室などで、装置内の埃などを清掃してから搬入すると思いますが
素早く、きれいにする良い方法などありましたら教えてください。
装置は一般室で組み立てられ、トラック等で輸送されていますので、埃が積もっている状態です。
手順や、どんなもので拭き掃除すればよいか、便利グッズなどあれば実用的なものを教えてください。

回答No.3

noname#230359 · ベストアンサー

梱包前にアルコール+ワイパでクリーニング。
梱包時に2重梱包。クリーンルーム前室に入れる直前に外側の梱包を剥がし、前室で内側の梱包を剥がす。
前室でアルコール＋ワイパでクリーニング。

ワイパはベンコットはケバが立つのでオススメしません。
アンティコンとかザヴィーナ等の商品名で販売されている製品が良いです。
値段はベンコットの比ではありませんが（高い）。

これらのワイパを使うと、アルコールを水（純水）に変えても十分な洗浄ができる可能性もあります。

>クリーンロボットや機構部品の細かいところの清掃
ケースバイケースです。クリーンロボットならばクリーンルームで組立を行なっているでしょうし、発塵箇所も少ないかあってもカバーリングや局所排気でゴミが外に出ないような対策をしていると思われるので、御社の組立現場でどのくらい汚すか（失礼）次第かと。
ホコリ程度なら、掃除機で吸って済ますというのも有りです。

加工品は大概油まみれですから組立前にクリーニングしたいですね。全部品を、とまでは言いません、これも装置次第。大雑把な目星をつけるなら、基板の搬送面よりも上に位置するもの、基板に近い部分、基板に接触する部分、とか。

クリーニング用品でもう一つ。
粘着性ゴムでホコリを吸着する、ローラ状のものがあります。商品名は忘れましたが、「クリーンルーム　ローラー　クリーナー」でググってみてください。
平面にしか使えないし、ある程度ゴミが付着するとローラーのクリーニングが必要ですので、仕上げに使う程度のものですが、アルコールも水も使わずにクリーニングできますので使い方次第では便利かと。

お礼

ご回答ありがとうございます。
やはり、出荷前清掃後、2重梱包（ラップ＋エアーキャップ）が常識のようですね。確かにベンコットは毛羽立つし、埃の吸着性はよくないので、ワイパをご紹介いただき、感謝いたします。早速調べてみます。
装置のカバー内部、クリーンロボットや機構部品の細かいところの清掃もワイパで地道に拭くしかないでしょうか。

度々のアドバイス、ありがとうございます。
装置の組み立て調整段階で数週間かかりますので、ホコリがどうしても積もってしまいます、出荷前に掃除機で大雑把なホコリ取り＋ワイピングを実施し、なるべくきれいにしてラッピング。
納入先では、IPAでワイピングやクリーンローラーなどを使い清掃実施という方向でやってみます。ご紹介いただいたグッズはいろいろ試し、作業性改善してみます。
ありがとうございました。

回答No.2

noname#230359

こんにちは。
半導体製造の付帯設備を主に製造しているメーカの者です。
弊社装置をお客様工場内クリーンルームに納入する際は、
お客様の指定以外はサランラップ(巨大なモノ)にて筺体を
ぐるぐる巻きにした後にエアキャップ等で梱包し、
工場入口にてエアキャップを外してIPAでラップを拭取り
中に入れています(静電気除去の為)。
確か、搬入業者さんも似たような方法をとっていたと
思います。
方法はお客様によって色々だと思いますので、
あくまで参考に・・・。

お礼

ご回答いただきありがとうございます。
IPAで拭く方法のようですね。参考にさせていただきます。

回答No.1

noname#230359

20年以上前の半導体製造装置の搬入に似ています。
装置は一般室で組み立てられたり、一般室内の簡易クリーンルームで出荷拭き掃除したり、
お客さんに応じて色々でした。

さて、考え方がよくありません。
なぜ、トラック等で輸送にて、埃塗れにして汚すのですか？
特に、トラックの排ガスで汚すと、黒くなり見た目が汚い、拭き掃除し難い、カーボンを連想
させて、客先担当者に見つかれば前室拭き掃除(クリーンアップ)する前に、持ち帰りとなる
公算が高くなりますよ。

貴社工場の一般室でよいので、貴社工場出荷前拭き掃除をして、排気ガスや埃が輸送中に
梱包内に入らない仕様で、梱包します。
そして、トラックも荷台に排気ガスが廻り込まないタイプの物をできるだけ手配して、客先
到着時の装置見栄えを良くする。

そして、お客様工場の前室では貴社工場出荷前拭き掃除と同様にアルコールを用いて拭き掃除
します。
装置とは別に輸送の装置取り外し部品も、同様にして貴社工場出荷前拭き掃除、梱包、お客様
工場前室での拭き掃除(受入れ掃除)をします。

> 細かいコンタミは積もっている状態ですので、
成分分析して、汚染源の追及はしましたか？
汚れを落とすのは困難なら、汚れ落としが困難な汚れが付着しない輸送方法を考え、
簡単なクリーンアップで掃除ができる状態にすることも有意義です。

> 汚れが付かないようにすること、もう少し気を付けるようにします。
それがよいと思います。
製造さんから、お客様工場へ搬入前の掃除は簡単に、ベンコットにIPA等を付けて、埃を軽く
拭き取る程度で、装置搬入後の立ち上げに力が注げる環境を作って欲しいと要望があり、
見直した経験があります。
頑張ってみてください。

> 装置のカバー内部、クリーンロボットや機構部品の細かいところの清掃
お客様のクリーンルームには、ダクトが必ずあるので、前室にも枝管があるならば、
それを使用させてもらっています。
なければ、掃除機の使用です。
掃除機の排気で、また汚染することがないように、排気がきれいな仕様の掃除機を使用
しましょう。

お礼

早速の回答ありがとうございます。説明が不足しておりました。
クリーンルームでない所で装置の組み立て後、多少の清掃は行い、エアーキャップ等で梱包後、精密機械輸送用トラックで搬送しておりますが、細かいコンタミは積もっている状態ですので、前室でクリーニイングしてCR内に持ちみ、設置後も清掃を行っています。ベンコット等不織布にアルコールをしみこませ拭き掃除するとしても、時間ばかりかかり、なかなか取りきれません。
半導体装置メーカー等、本職の方はどんなクリーニング方法をとられているのかアドバイスいただきたいということです。
作業性の良いワイピングクロスはあるか、
やはりクロスに純水やアルコールをしみこませふき取るしか方法はないのでしょうか？
搬入先は半導体の前工程ではなく、後工程をイメージください。よろしくお願いします。

汚れが付かないようにすること、もう少し気を付けるようにします。
ありがとうございました。

アドバイスありがとういました。
参考にさせていただき、作業改善に努めてみます。