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透明プラスチックのダスト検査
- 透明プラスチックのダストを検査する機械は存在するのか？
- 透明プラスチックにダストをつけたくない場合、クリーンルームでの処理が必要かもしれない
- 透明のプラスチックにダストがつかなくなる処理方法はあるのか？
- その他（品質管理）
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>検査する機械ってあるのでしょうか？ 通常半導体ウェハやFPD基板の異物検査につかう光学式異物計が使えますが かなりオーバースペック（仕様、価格とも）ですね プラスチックにダスト付着をしにくくするにはイオナイザーが有効です http://www.keyence.co.jp/seidenki/jokyo/ http://www.fa.omron.co.jp/product/special/q-port/eco_static/ 究極的には付いちゃったダストを純水などで洗浄するか いっそ保護フィルムで保護するのが有効ですね。 >純水での洗浄は、透明プラスチックとダストが電気的に弱く結び付いているので >◆ 物理的な作用を与え、その結び付きを解く >◆ 純水を電界イオン水にして、その結び付きを解く >ようにする必要があります。 通常の固形ダスト程度なら純水オンリーで大丈夫ですよ。 液浸してナノバブル洗浄等もありますがちょっと規模が大きくなる。 >また、純水中に浮遊しているダストの再付着防止のために、オーバーフロー等でそのダストを除去する必要があります。 >そして、乾燥時もダスト付着を考慮する必要があり、簡易クリーンルームが大きくなります。 >ですから、大掛かりになるために、紹介はしませんでした。 何このデタラメな内容？ 超純水を使うわけでもなし最付着いやなら普通に純水容量増やせばいいだけですし 乾燥したら防塵の製品パレットに収めて運搬すればいいだけです 今どき洗浄液乾燥を装置内で行えない洗浄装置なんてみたこと無いですよ。 百歩譲って乾燥工程が別だとしてもクリーンベンチで充分ですが。 >アルコール等で拭く事も、透明プラスチックの耐薬品性を確認する必要がありますが、 >レベルによっては人があまり移動しない室内作業でも可能となります。 自分でアルコールで拭くとか言っておいて手の平を返してますね。 別に人の移動なんてあまり関係なしですよ パレットを運搬パレットと洗浄パレットの２重構造にするだけで済む話。
アドバイスになるかは不明ですが、２０年余り前は以下の内容で半導体製造装置を製作 していました。 発塵し難い布にアルコール等付けて拭き、クリーン仕様の透明ビニール等に封入していました。 できれば、その作業は簡易クリーンルーム（ミニエンバイロメント）で行なう。 簡易クリーンルームは、例えばアルミフレームにて作業エリアを作り、透明ビニールでその 作業エリアを覆い、上部に簡易クリーンユニットを設置する簡単なものです。 （透明ビニールは、フロアから５～１０ｃｍ隙間を明け、ダウンフローをそこから逃がします） そして、お客様のクリーンルームにて、最終クリーンアップして使用していました。 そのような内容では駄目でしょうか？ > 透明のプラスチックにダストがつかなくなる処理方法なんてあるのでしょうか？ 静電処理剤を塗布すると、静電気によるダストの吸着は完全ではないけど防げます。 純水での洗浄は、透明プラスチックとダストが電気的に弱く結び付いているので ◆ 物理的な作用を与え、その結び付きを解く ◆ 純水を電界イオン水にして、その結び付きを解く ようにする必要があります。 また、純水中に浮遊しているダストの再付着防止のために、オーバーフロー等で そのダストを除去する必要があります。 そして、乾燥時もダスト付着を考慮する必要があり、簡易クリーンルームが大きく なります。 ですから、大掛かりになるために、紹介はしませんでした。 アルコール等で拭く事も、透明プラスチックの耐薬品性を確認する必要がありますが、 レベルによっては人があまり移動しない室内作業でも可能となります。
