石英ウエハの洗浄方法と傷の原因について

2011/11/17 11:36

このQ&Aのポイント

6インチの石英ウエハをPVAスポンジブラシを使用して洗浄しています。しかし、洗浄中に円周状の傷ができる問題が発生しています。ブラシの偏芯が原因の可能性があります。
押し付け量を減らすことで傷が薄くなるものの、洗浄能力が低下してしまいます。イボのないタイプのブラシを試してみることで傷の問題を解決する方法もあります。
ブラシ軸の偏芯が傷の原因となっている可能性があります。軸を交換することで偏芯が解消され、傷が出なくなるという実験結果があります。

noname#230358

その他（電子・半導体・化学）
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noname#230359

2011/11/17 19:10 回答No.2

スクラブ洗浄ですね。 > スポンジを押し当てたくらいで傷が入るとは考え難いＹＥＳです。ですから、 ◆ スポンジに異物がありそれが原因 ◆ スポンジを固定している等の突起物がスポンジの中にありそれが原因等々が先ず考えられます。できれば、アルミ製又はガラス製のダミーウエハにて、同じように手で接触させて確認すると判るのではないでしょうか？（但し、PVAスポンジブラシは汚染してしまい再使用は？？ですが…） http://www.speedfam-clean.jp/tech/ 懐かしい資料です。さて、新しいPVAスポンジブラシに交換すると、一時的な内容か装置/部品固有の内容かの判断が付きます。（PVAスポンジブラシは、高価ですがね）

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noname#230359

2011/11/17 15:14 回答No.1

まずはウェア座標でブラシ動径の軌跡を描画してみたらどうでしょう。滞留点とか生じてないでしょうか？ >> スポンジを押し当てたくらいで傷が入るとは考え難い >ＹＥＳです。 >ですから、 >◆ スポンジに異物がありそれが原因 >◆ スポンジを固定している等の突起物がスポンジの中にありそれが原因いいんですか？軽々しく言い切っちゃって。本当に役に立つ回答を、この人がしてくれるのか、逃げちゃうのか、しばらく静観します。　 http://mori.nc-net.or.jp/EokpControl?&tid=240719&event=QE0004 は教訓になってないんだな。まあいいや。　