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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:銅めっきの結晶粒径を数値化したいのですが…)

銅めっきの結晶粒径数値化の方法とは?

このQ&Aのポイント
  • 銅めっきの結晶粒径を数値化する方法は何があるのか調べました。JISなどで規定されている手法があるのかどうかも確認しました。
  • 銅めっきの結晶粒径を数値化する方法についてご教示いただけないでしょうか。JISなどで規定されている手法があれば教えてください。
  • 銅めっきの結晶粒径を数値化する方法について調べています。JISなどで規定されている手法があるのかどうかも確認しています。

みんなの回答

noname#230359
noname#230359
回答No.1

X線回折や電子線回折で結晶粒径を測定できるようですが、めっきの場合は膜が成長するにしたがい結晶構造も変化するので表面から測定しただけでは正確な粒径が得られないという意見もあります。 それに対しては、ミクロトームなどで薄くして測定するという手もあります。 電子顕微鏡などで表面を観察するという手もありますが、表面なので問題は上と同じ。また、あまりにも小さくなると判別不能になる。 JISでは特にないと思います。

参考URL:
http://www.e-jisso.jp/publish/journal/pdf/92/92a03.pdf
noname#230358
質問者

お礼

ご回答誠にありがとうございます。 X線を用いて粒径を算出する方法とFIB等で断面観察する方法で得た粒径サイズには、違いがありすぎるように思えます(nmとμmオーダーの差)。 例えばホール・ペッチの法則(粒径の1/2乗に比例して材料強度が変化する理論)に当てはめる場合、どちらのサイズを信用すればよいのでしょうか? もし、お分かりになるのでしたらご教示下さい。

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