スパッタとスッパッタの違いは？

2003/01/31 20:07

このQ&Aのポイント

スッパッタリングとは、スパッタとは異なる現象です。スパッタは物質が飛び散る現象を指し、主に物質表面にエネルギーを与えて起こります。一方、スッパッタリングは物質の微粒子が飛び散る現象を指し、主に高速で飛び散る現象です。スパッタとスッパッタは、カタカナ表記の解釈の違いで「ッ」が有るか無いかが異なる点です。
スパッタとは物質が飛び散る現象を指し、主に物質表面にエネルギーを与えて起こります。一方、スッパッタリングは物質の微粒子が高速で飛び散る現象であり、主に工業的なプロセスで利用されています。スパッタとスッパッタは、カタカナ表記の違いで「ッ」が有るか無いかが異なる点です。
スッパッタリングは物質の微粒子が高速で飛び散る現象であり、主に工業的なプロセスで利用されています。一方、スパッタは物質が飛び散る現象を指し、主に物質表面にエネルギーを与えて起こります。スパッタとスッパッタは、カタカナ表記の解釈の違いで「ッ」が有るか無いかが異なる点です。

noname#230358

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noname#230359

2003/02/03 16:53 回答No.4

通常のマグネトロンスパッタリングなどでは基盤温度が上昇してしまうため，樹脂へのスパッタは難しいと思われます。ただ，最近は樹脂などにダメージを与えずにスパッタする方法が開発されているようです。 (#3のお礼にところに書かれたものに出ているのはまさに樹脂へのスパッタのようですね。) 「低温成膜」などをキーワードに検索されては。

質問者

お礼 2003/02/07 11:45

検討していたことが違っているようだと理解できました。遅くなりましたがありがとうございました。

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noname#230359

2003/02/03 11:47 回答No.3

googleで検索した結果、スッパッタ -> 4件スパッタ　 -> 約7090件スパッタの入力ミスでいいと思うのですが。

質問者

お礼 2003/02/03 13:12

論文紹介で題名はスパッタリング、内容説明文でスッパッタリングと書いてあるものを確認しました。どうやら同じもののようですね。ついでで申し訳ないのですが、樹脂にスパッタリングを行えますか？装飾目的でＡＢＳ、ＰＣなどに行いたいのですが。

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noname#230359

2003/02/03 09:43 回答No.2

sputterとう動詞にingがついてsputteringです。以下，参考サイトより----- 【他動-1】をパチパチ飛ばす、はじき出す【他動-2】を口からペッペッと吐き出す、を跳ね飛ばす【他動-3】を早口｛はやくち｝でしゃべる［言う］【他動-4】《物理》スパッタする ◆イオン、原子、クラスターを物質表面にぶつけて表面を削る、あるいは表面物質を跳ね飛ばす -------ココまで「を口からペッペッと吐き出す」とありますが，唾を吐くことをspit(過去形spat)と言いますので，語源はspitもsputterも同じなのかもしれません。いずれにしろ，通常日本語では「スパッタ」もしくは「スパッタリング」と表記します。「スッパッタリング」は入力ミスか何かでしょう。