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フォトマスクを梱包したいのですが・・・。
フォトマスク(レチクル含む)を1枚単位で 梱包したいのですが、そのためのケース(容器)を 扱っている会社ってご存知ありませんか? 各種検索サイトでインテグリス(Entegris)という 会社は見つかったのですが、これ以外に見つからなくて 困っています。(1社では価格や性能の比較が できないので・・・。)
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noname#13376
回答No.1
1枚単位、ってどういうイメージでしょうか? また、どれくらいの時間、どういう目的でつかうのでしょうか? 運搬のために一時的に梱包し、到着後にすぐに開梱するなら、 ・無塵シート(不織布)にくるんで ・ジップロックに乾燥剤をいれて ・ぷちぷち(エアキャップ)にくるんで ・ダンボールでつつむ とすればいいのではないでしょうか? 多少の保管性を持たせるなら分かりませんが。 専用のケースよりも安く出来るかどうかは分かりませんが、入手のしやすさからいっていいかなぁ・・・と。
補足
早速のご回答ありがとうございます。 輸送用としては、u2_jun様のような形でも 問題ないのですが、保管用としても使用するので、 頻繁に発生する出し入れを手軽にできる ケースを探している次第です。 具体的には、Entegrisで扱っている B80シリーズマスクパッケージのようなものです。(http://www.wafercare.com/Default.asp?G=8) 今のところ、Entegris以外には似たようなものが 見つかっていません。 なお、質問カテゴリーの誤りに気づいたため、 いったんcloseし、カテゴリーを移動させて いただきます。