耐アルカリに優れたDFRレジスト

質問

耐アルカリに優れたDFRレジストを捜しています。
　Ph13の銀鍍金槽の中で、最低70分は耐えるDFRは
ないでしょうか？お力添えお願い致します。

回答No.1

noname#230359

PH13の温水中で加水分解（分子量低下）により、剥落しないという観点でしたら、シンジオタクチックポリスチレンの可能性がないとは思いませんが。
レジストという名前からは、UVや電子線の照射でパターン作製ができるような反応性がであったりSPS膜と基材にそれなりの密着性（接着力）が必要。
といった感じがします。その他の要求特性をご教示ください。

補足

spockさんのおっしゃいますように、紫外線の照射でパターン作製ができるDFRです。言うなれば、エッチング用のDFRでして、密着性：解像性に優れたものであれば、尚よろしいのですが...
　とりあえずは耐アルカリ性の重視ということで、よろしくお願いいたします。