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ガス流を注入しているコロナ放電装置について
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- lumiheart
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回答No.1
そもそもですが、本件のコロナとは何をする装置なのでしょうか? 貴殿の質問シリーズから https://okwave.jp/qa/q9344332.html 恐らく静電気除去装置の類かな?と予想してたけど https://www.keyence.co.jp/ss/ionizer/doctor/jodenki/genri.jsp http://www.simcoion.jp/seidenki/ さもなくば ICのシリコンウエハ製造装置の類か? http://iontc.co.jp/ion_injection/ https://www.ulvac.co.jp/products_j/equipment/products/cvd-system でも今回の質問から、それらではなさそう コロナ処理装置 http://www.ekasuga.co.jp/product/36/000032.shtml 何処のメーカの型番は何? それを明確にすれば解決は早いでしょう
補足
Ion current density profiles in negative corona gaps versus EHD confinements という論文なのですが,型番などはのっていなくてすみません…