クリーンルーム内の汚染について

質問

半導体工場などにあるクリーンルームについて質問させていただきます。クリーンルームに持ち込まれる機材、消耗品などは低発塵性のものではないとクリーンルームが汚染されてしまうと聞きました。
一度クリーンルームが塵によって汚染されてしまったら回復するのにどれほどの時間と手間がかかるのでしょうか？

クリーンルームのクラスや面積、汚染の程度によって異なるかと思いますがその辺のこと詳しい方がいらっしゃったら教えてください。

回答No.1

isoworld · ベストアンサー

クリーンルームのクラスにもよりますが、たとえばクリーンルーム内にふつうの紙やエンピツは持ち込めません。紙はクリーンペーパー、エンピツはボールペンのように微粒子や塵埃が飛散しないものにしなければなりません。
　もし誤ってこれらを持ち込んだときに、どのくらいの時間で回復するかは、残念ながら一般論では言えません。持ち込んだ量、汚損の程度、クリーンルームの容積にもよりますし、クリーンルーム内には常にクリーンなエヤを送り込みながら一方では引いていますから、その能力にもよります。
　パーティクルカウンターなどで、浮遊粒子をカウントして様子を調べて判断することになるでしょう。

お礼

早速のご回答ありがとうございます！やはり時間に関しては一概には言えないようですね。