半導体プロセス技術の入門書を紹介してください。
こんにちは。化学専攻の大学院生です。
先日、某半導体メーカーから内定を頂き、
プロセスエンジニアとして採用される予定です。
大学院では軟X線光化学の研究をしており、
X線リソグラフィなどの次世代技術に非常に興味を持っているのですが、
正直言って半導体の知識はあまりないというのが現状です。
そこで、これから就職までの1年以上の期間を使って、
前もってプロセス技術について勉強しておこうと思い、
適切な入門書を教えていただきたく質問いたいたしました。
ちなみに秀和システムから出版されている一般向けの本はすでに読んで、
プロセス技術の基本的な概念はなんとなく理解しているつもりです。
（『これで半導体の全てがわかる！』と『よくわかる最新半導体の基本と仕組み』）
今のところ、工業調査会から出版されている以下の2冊を候補に考えています。
・はじめての半導体プロセス（前田和夫著）
・はじめての半導体ナノプロセス（前田和夫著）
名前が微妙に違うんですが・・・
もしこれらの違いなどもわかる方がいれば教えていただきたいです。
よろしくお願いします。
