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MOSFETの基板電流について
現在CMOS回路について調べています。 その中で「MOSFETの基板電流」ということを先輩から聞いたのですが、基板電流とは具体的にどの部分(経路)を流れる電流のことなのでしょうか? 知っている方おられましたら教えて下さい。参考URL、参考文献などありましたら併せてお願いします。
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先輩のお話は多分drainからsubstrateへのtunnel effect電流です。 deviceとしての静止電流を構成する一因です。どっちのMOSのdrainなのかや電流の概算式などは、質問に頼らず 構造図(教科書的な古典的構造)から自力で考察を。よい題材です。 (それよりも; 基板ではありません、substrateは基盤と覚えてください。これが目についたのでレスする気になったんですが。w)
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- BPN
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基板電流ですが、すでに答えが出ていると思いますが、、、「基板」と「基盤」とで意見が出ているので私もw MOSFETの動作として、ゲート直下でS-D間の電流のみを考えられれば理想的なのですが、電気の流れる経路として、どうしてもTrと反対側の基板裏面へ抜けてしまうルートが出てきます。(通常基板裏面側はGNDとして、接地しています。)このルートの電流は、ゲートをONしなくてもドレインに印加している状態だと流れてしまう場合があり(No1さんのトンネル効果ですかね)、スタンバイ時の電力消費として嫌われてしまう電流ですね。 対策も考えられているので、調べてみると結構深いですよ・・・ 混乱するかもしれませんが、私はサブストレートはシリコン基「板」というイメージが強いですね。よくレポートでも「基盤」と変換して指摘されていたもので・・
- VAN613
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ここ見たらよく分かりますよ。 http://wafer.fuis.fukui-u.ac.jp/lsi2/page2-1.htm ちなみにNo.1さんのご指摘ですが、テスト勉強が したいなら基盤で覚えたら良いと思いますが、個人的 にはどっちでも良いと思っています^^;(私はADSを 使ったRFモジュール設計を業務にしています)。 確かにMOSFETの作り方から考えると【板】というより 【盤】と言った方が適切だとは思いますが。 ※その真意はNo.1さんにお聞きしないと分からない ですが、この【substrate】に不純物を拡散して ドレインやらソースを作っているので【盤】の方が 聞こえが良いのかな?【板】だとその上にドレインや らソースが乗っかっているかのような誤った認識を しそうな気もするんで。
お礼
回答して頂きありがとうございます。 トンネル電流ですか。関連の教科書等調べてみます。 ところで、substrate=基板と何かの本に載っていて、ずっと使っていたのですが、基板と基盤の違いは何ですか? よろしければ教えて下さい。 お願いします。