負圧下での水素流量測定方法

質問

負圧下（ゲージ圧で－９０から－１０１．３ｋＰａへ差圧１１．３ｋＰａ）で水素を流しているときに流量を測定できる計装器を教えてください。熱式質量流量計が適していそうだったので、２社ほど問い合わせを行ったのですが、圧力範囲が仕様外でした。その他、色々と探しましたが見当たらずこちらで何かヒントをと思い問い合わせしてみました。よろしくお願いします。

回答No.2

noname#230359

小生は、東京計装さんやキーエンスさんに、よく確認しております。

参考URL：

http://www.tokyokeiso.co.jp/techinfo/magazine/index.html http://www.keyence.co.jp/atsuryoku/ryuryou/fd_v40/index.jsp?mot

お礼

ご回答ありがとうございます。
２社とも良く使うメーカーですが、問い合わせはしていませんでした。
さっそく担当者に連絡を取ってみます。

回答No.1

noname#230359

マスフローメータ
http://www.compoclub.com/products/list/flow/detail/CMS.html

Ｑ：マスフローメータCMSは負圧で計測できますか。
http://www.compoclub.com/support/faq/faq_mf.html#13
//　30kPa（絶対圧）以上あれば負圧でも計測可能です。

と、記載されてます

お礼

ご回答ありがとうございます。
当方で確認した２社のうちの１社です。
当方要望が絶対圧ですと０～１１．３ｋＰａなので
範囲外（30kPa以下）という事でした。