CVD（TiC）コーティング表面の変色

質問

CVD(TiC)コーティング処理の表面上に赤っポイ斑点状のアバタがに確認される事があります。受入れ時に顕微鏡で確認出来るくらいのサイズなのですが、使用で不具合になってしまうものでは在りません。
CVDに関して、処理工程・設備面で詳しい方からのアドバイスがあれば助かります。

回答No.1

noname#230359

１．コーティング後のガス冷却プロセスで周辺の治具から離れた塩化物。
２．ガス冷却後の自然冷却持にガスの流れが止まり、アルゴン充満環境での拡散物。