クリーンルーム(クラス100)内使用設備の設計に…

質問

クリーンルーム(クラス100)内使用設備の設計について

何時も御世話になっております。この度、クラス100のクリーンルーム内で使用する設備を設計するに当たり、
　1.機構や材質にどのようなものを使用するべきなのか？
　2.電気関連(配線、静電気、EMC関連)部品は何を使用するべきか？
　3.排気はどの様な箇所に設けるべきなのか？
が不明です。御存知の方御教示ください。また参考URLや書籍があれば、併せて御教示いただけると幸いです。

回答No.4

noname#230359

クラス100のクリーンルームとは天井にヘパフィルタが前面に設置された部屋です。この点を考慮すると次のようになります。
１．機構は簡素にして、上下層流を確保すること。
　クリーン仕様のユニットの使用を推奨します。グリスもクリーン仕様です。
　材料は金属では錆にくいSUS、ベルトではウレタンが主流になります。
　材料で使用禁止されている物と推奨されている物をユーザとの確認が必要です。
２．静電気によるワークへ異物付着防止のため除電装置が必要です。
３．駆動装置が動作すると摺動により塵が発生するので、摺動部に吸込み口を設け排気除去します。近くに炉など発熱体が有ると、設置場所の層流が乱れクラス100を超える可能性があるので、設備全体にカバーを付け天井にクリーンユニットを設置することを推奨します。

回答No.3

noname#230359

クラス100のクリーンルームとは天井にヘパフィルタが前面に設置された部屋です。この点を考慮すると次のようになります。
１．機構は簡素にして、上下層流を確保すること。
　クリーン仕様のユニットの使用を推奨します。グリスもクリーン仕様です。
　材料は金属では錆にくいSUS、ベルトではウレタンが主流になります。
　材料で使用禁止されている物と推奨されている物をユーザとの確認が必要です。
２．静電気によるワークへ異物付着防止のため除電装置が必要です。
３．駆動装置が動作すると摺動により塵が発生するので、摺動部に吸込み口を設け排気除去します。近くに炉など発熱体が有ると、設置場所の層流が乱れクラス100を超える可能性があるので、設備全体にカバーを付け天井にクリーンユニットを設置することを推奨します。

回答No.2

noname#230359

こんな記述は、あまり良くありませんが、小生がアドバイザーに
なる事は可能です。

以前は、半導体の装置メーカーで、会社を代表して国家予算申請
プロジェクトにも参加していました。

今は、この森の名前の様に生きていますので、実費程度での対応は
可能です。

回答No.1

noname#230359

これは、クリーンルームへ、装置を納めているメーカーのエンジニアや、
そこで仕事をしているエンジニア（守秘義務で）等々の経験者からは、
情報は出てこないと思います。
因って、どこかと業務提携するか、顧問を雇い入れるかをした方が良い
でしょう。

さて、
１．は、大まかなルールはあります。
そして、客先スペックも重要な項目です。
<業界の差もあります。半導体や医療、食品等々で>
２．は、内容を観ますと、静電気の項目があるので、微小異物管理をする
半導体業界ですよね。太陽電池もかな？
３．は、微小異物は、ブラウン運動で、拡散します。
それをダウンフローで抑制して、排気します。
クリーンルームの技術やミニエンバイロメントの技術を書籍で確認します
と、基本内容の記述はあります。
以上位は、アドバイスができます。