ガス窒化+ＴｉＮとプラズマ+ＴｉＮの密着性は？

質問

はじめまして、
外人の学生です。
最近薄膜の本を読みましたが、
分からないところがあります。

ガス窒化+ＴｉＮコーティングと
プラズマ+ＴｉＮコーティングと
両方とも複合処理で、その効果はどこが違います？

それぞれ基板と薄膜の密着力の比較は
どれが良いのでしょう？

皆さんにお願いします＞＜

回答No.1

noname#230359

ガス窒化：白層（脆性層）が残り、表面が荒れるため、ラップが必要。
　窒化層は厚く出来るため、母材強度は上がり、高面圧用途に対して
　密着性がよく見える。
プラズマ窒化：白層（脆性層）が残は少なく、表面が荒れるため、
　ラップが必要。
白層（脆性層）を残りをなくすには、ラジカル窒化がよいとされている。

上記は、材質・使用環境により、大きく変わります。特に、この分野は
熱処理屋、コーティング屋のノウハウになるため、詳細は明記されて
いないので、これらの専門屋に相談が必要でしょう。

お礼

ありがとうございました<(_ _)>
私は外人で、今うちの国の技術はそれほど進んでいないようです、
ガス、イオンぐらいのようですね；；

もっといろいろなことを知りたいから、
日本、薄膜の本を手に入れました。
また、勉強します。
本当にありがとうございました。