- 締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：スパッタリングのマスキング）
スパッタリングのマスキング
このQ&Aのポイント
- 透明なアクリル板にアルミのスパッタリングを施したい場合、部分的にアルミを付けないようにするためのマスキングが必要です。
- マスキングには特殊な素材やテープを使用して、アルミが付着しないようにします。
- また、他の方法としては、スパッタリング前に透明なアクリル板に防御コーティングを施すことで、アルミが付着しにくくすることも可能です。
noname#230358
- メッキ
- 回答数1
- ありがとう数1
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
みんなの回答
noname#230359
回答No.1
半導体分野での経験があります。作りたいパターの精密度によって色々な方法があります。 メタルマスク：薄いステンレスをエッチングしたものを表面に置く。もしくは、磁石で付ける。 リフトオフ：レジストでパターニングし、スパッタ後、レジストと共に剥離する。 テープ：カプトンテープをよく使います。 このような回答でよいですか？
お礼
ありがとうございます。早速テストしてみます。