窒化鋼の窒化層定量分析方法について

2005/12/06 23:43

このQ&Aのポイント

窒化層の定量分析について教えてください。窒化層は普通EPMAで定量化をおこなっていますがその定量の方法や、EPMA以外の測定装置での定量をおこなった方がいればその方法を教えてください。
窒化鋼の窒化層の定量分析方法について詳しく教えてください。普通はEPMAを使用して窒化層を定量化していますが、他の測定装置でも定量をおこなう方法があれば教えてください。
窒化層の定量分析方法についての質問です。一般的にはEPMAを使用して窒化層を定量化していますが、他の測定装置でも窒化層を定量化する方法があれば教えてください。

noname#230358

金属
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noname#230359

2005/12/12 22:14 回答No.1

表面からグロー放電を利用して、表面から深さ方向に定量分析が迅速に可能な装置があります。http://www.jyhoriba.jp/product_j/gds/jy-5000rf/　堀場の他にもリガクや島津製作所でも製造・販売しています。東京都大田区にある城南地域中小企業振興センター（http://www.tokyo-kosha.or.jp/jonan/）では依頼試験も可能です。

質問者

お礼 2005/12/21 17:14

ありがとうございます。実は私は大学の研究で高周波グロー放電発光分析をやっておりまして、窒化材料、浸炭材料の深さ方向の窒素、炭素分布の定量化を行なって行きたいと考えておりまして投稿いたしました。 GDSについて簡単に説明します。 GDOESはスパッタ速度が1μm/min～10μm/minとかなり迅速で、AESなどで数時間かかる試料が数秒でできてしまう優れものです。また高周波を用いているのでH,N,C,Oなどの軽元素も高感度に分析できます。また、分析面積が1mmφ～10mmφと大きいので平均的な情報が得られるのが特徴です。GDSは低真空で測定をおこなうために表面の吸着物が取れないので測定には気をつかわなけれいけません。