装置の仕様を教えてもらえないですか？

質問

今度、半導体の仕事の技術に付きます。
担当はスパッタです。
扱う装置はＡＮＥＬＶＡ製のＩＬＣ１０５１と
ＩＬＣ１０６０です。
搬送系も分らないしラダーの使い方も分りません。
もし良ければ詳しい情報を教えてください。
できれば、ＩＬＣ１０５１の装置の事が全く分らないので宜しくお願いします。

回答No.1

coverfly · ベストアンサー

ANELVA製ロータリーポンプに携わる者ですが
こんなものがありました。
ttp://e-trade.ktc.ksrp.or.jp/ja/seeds/kitakyu/052.html

その他の仕様は企業によって変化するのでこの様なサイトで出て来るかは不明です。