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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：オリフラについて）

オリフラのシリコンウエハ付着面とは？

このQ&Aのポイント
  • オリフラについて知りたいです。特に、シリコンウエハの付着面について教えてください。
  • オリフラのシリコンウエハには、(100)と(111)の面に付着しています。
  • (100)面は〇〇〇〇〇で、(111)面は〇〇〇〇〇です。
noname#230358
noname#230358

みんなの回答

noname#230359
noname#230359
回答No.1

どのような加工を行なうかにもよりますが。。。 面方位(100)面のウエハにウエットの異方性エッチングで加工する例を挙げます。この場合マスク形状がどんな形であってもマスク形状が内接する(110)面で囲まれた四角形にエッチングされます。つまりこのような加工の場合は(110)面にオリフラを付けることが好ましいと思われます。オリフラ位置は指定が出来ますので、先ずは加工方法の選択でしょう。

noname#230358
質問者

お礼

回答ありがとうございます。

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