ガス最大流量と配管径；1/4か3/8か？
下記条件によるN2ガス供給系を検討しています。
・ガス種：高純度窒素（N2）
・供給条件：300L/min, 0.2MPa, 20℃
・流路：1/4 or 3/8inch配管1m ⇒ プロセスチャンバ ⇒ 排気配管
・変則：プロセスチャンバ直前に内径50mmの所謂シャワーヘッドあり。
・補足：プロセスチャンバも内径50mm×300mmの略円筒形，真空系/加圧系ともに無し
・排気条件：大気圧，プロセス依存の温度に昇温
上記シャワーヘッドの開口穴総面積を、ガス供給配管内面積と一致させたとき（配管肉厚0.89mm）、1/4inch供給配管でも300L/minのN2ガスを流せるのでしょうか？ プロセスチャンバへの流入圧力低下が少ない方がよいので、1/4配管でも300L/minの窒素を流せるのであれば、1/4配管でガス供給したく。取引業者によって1/4inchで「流せる」「流せない」の見解相違し、圧損実測値等の具体的データがないため理論計算も困難なため、判断に迷っています。
ポイントは、1/4inch供給配管でも300L/minのN2ガスを流せるのか、それとも3/8inchでなければ無理なのか？です。
装置検収期限も迫っており、本当に困っています。御忙しいとは思いますが、御専門家の見解をお願い申し上げます。
