低温プラズマ

質問

低温プラズマについて調べようと思ってるんですけど、低温プラズマの応用例ってどんなものがありますか？？教えてください＞＜

回答No.2

sanori · ベストアンサー

半導体集積回路の製造工程の中では成膜工程がありますが、
成膜方法の一つにＣＶＤ（chemical vapor deposition）があります。
http://www.tdy.co.jp/bmr/hidep.html

あと、
私はぜんぜん知りませんが、下記のようなこともあるようです。
実用化されていないような気がしますが。
http://www.lib.shizuoka.ac.jp/gakui/gdea/gdea076.htm

回答No.1

north_2nd

蛍光灯とかプラズマテレビなどですね。