真空タンクからの大気解放時の音の低減について

質問

イオンプレーティング設備の真空チャンバからの大気解放時に物凄い音が出ます、この吸気音を低減したいのですが、サイレンサになる良い製品が見つかりません。
現在はバルブから直接大気解放させているのですが、このバルブにSMC等から販売されてるサイレンサをつけても大丈夫でしょうか？
何か良い方法がありましたらお教えください。

回答No.5

noname#230359

数十L程度の実験用真空チャンバーの大気開放にPiscoの普通のサイレンサをつけて使用しています。(流量数L/minで使用)

特にエレメント破損などの事故は経験していません。

サイレンサ前段に適切なリークバルブ(スロットルバルブ)が有れば圧力差の殆どがバルブ前後で発生するのでサイレンサにかかる圧力負担を軽減できます。
(バルブでの圧損>>サイレンサの圧損となるようにする。)

お礼

ありがとうございます。
サイレンサの目詰り等はありませんか？

回答No.4

noname#230359

スロットルで、逆流の速度を調整したら如何でしょうか？
(絞った所からの音は、下記で対策できます。)
音が鳴っているところは、恐らくバルブ周辺なので、
その先に長いチューブ(長いほど効果が高い)を取り付けるのも効果が有るとの思います。

お礼

スロットルで絞ると大気解放にかかる時間が長くなってしまうので
迷っておりましたが、長いパイプをつけるだけでも効果ありそうですね。
ありがとうございます。

回答No.3

noname#230359

回答（２）さんの図の様なタンクに蒸気を投入する場合のサイレンサ
http://www.yoshitake.co.jp/prod/category/product.php?id=1060017
http://www.catalina.co.jp/kisui/horne.htm
http://www.venn.co.jp/products/temperature_regulating.html
蒸気と空気ではそれなりに違うでしょうけれど
蒸気の場合はサイレンサを使わなかったらほとんど爆発音に近い騒音
それがバッシューで済む

お礼

こんなサイレンサがあるとは知りませんでした。
蒸気に使用する物なら耐久性は高そうですね、ありがとうございます。

回答No.2

noname#230359

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真空チャンバ　┃　　　┏━━━━━┓┃　外気
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前のご回答とおりで問題ないかと思いますが、もしも負圧での使用にご心配
があるならば、サイレンサを囲むような容器を設け、真空チャンバを大気開
放した際に、サイレンサに空気が流れ込む構造にすれば問題は解決すると
思います。

また、サイレンサの使用とともに、大気開放の際の流量を抑えるように、
バルブ開閉の速度を遅くしたり、大気に至る経路を長く・断面を狭く狭く
するようにすれば、騒音の減少に役立つと思います。

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真空チャンバ　┃　　┃サイレンサ┗┛
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真空チャンバ側のパイプ径よりも、大気に開放される側のパイプ径を大きく
したほうが良さそうですね。大気に開放される側のパイプの流速が速いと
この部分が音を発する源になるので、流速を落とすことが適切と思います。

お礼

ありがとうございます。
サイレンサーと空気室の組み合わせなら消音効果も高そうです。

回答No.1

noname#230359

取説にも逆圧の使い方は書いてないようで、心配ならＳＭＣに聞く。

　　http://www.smcworld.com/products/ja/s.do?ca_id=126

・金属焼結吸音材のタイプは内外圧の区別なくもつはず。
・樹脂吸音材でカバー無で自立したものは多分。
・　〃　　　　〃　　有のものはどうか。

外側のカバーでは内への引込みを支えないが、最高使用圧１MPaなので余裕があって大丈夫とは思います。

カバー有で凹むようなら内にカバー追加、簡易的に中ほどにリング状のものを入れると持つでしょう。

お礼

逆圧での使用についてどこにも参考になる資料がないので迷っていました。
私も金属タイプなら使用できると思いますが、使用前にSMCに確認取ってみます、
ありがとうございました。