輪郭形状測定機の日常点検

2011/11/23 18:24

このQ&Aのポイント

日常輪郭形状測定使用前一括校正を行っています。測定結果の精度を確認するために、Z軸ゲイン調整や対称性補正測定、スタイラス半径測定を行います。
測定結果の精度を確かめるために、Z軸ゲイン調整による段差の公称値と測定値の差を確認しています。
質問の内容についてご教示いただければ幸いです。

noname#230358

測定・分析
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noname#230359

2011/11/24 15:02 回答No.1

スタイラスが輪郭をなぞる、こういったタイプの測定機でしょうか？　　http://www.kosakalab.co.jp/common/pdf/ef550g18_g18d.pdf 　　測定精度 Z：±0.25%/フルスケール点検で得た結果は計算するまでもなくメーカ規格に合格してます。機種が違うならその規格に照らしての判断になります。アナログタイプの測定機で、精度はあまり構わないで輪郭形状を測りたい、そのような用途で使う機器です。最近はデジタル化して　　http://www.accretech.jp/pdf/measuring/S2900DX3_SD3_1.pdf 　　測定精度 Z ：±（ 0.8 + 2 × H/100 ）μm以下 H:測定高さmm のような２桁以上精度が良い機種の方が多いです。お持ちの測定機ではレンジを50mmなど大きくすると精度が低いが、小さいレンジでは精度の式に従って良くなる、そのような特徴があるものと認識し、不満がないのであれば更新を考えることもないでしょう。

質問者