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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:ガラスの両面研磨について)
ガラスの両面研磨について
このQ&Aのポイント
- 青板ガラスのラップ時にキャリアとワークの端面の接触を軽減する方法
- ガラエポ以外の材質で端面の影響を軽減できるか
- ワークの端面を保護するための効果的な方法
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noname#230359
回答No.1
弊社でガラス基板とガラス製ハ-ドディスク研磨用ロボットハンドリング付きラッピングマシン(パッドとスラリ-使用)とアルミ合金製ハ-ドディスク研磨用ロボット付きホ-ニングマシン(砥石)の設計をした経験から、参考までに書きます。 角型ガラス基板の時に対策として、シンプルに多分同材質の薄緑色ガラエボキャリア(薄緑色)の基盤接触部は4角部のみ、 他は0.8mm位逃げ加工しました。基盤とキャリア穴のクリアランスは0.1mm位で、着脱ロボットのカメラ付きハンド部は少しフリ-構造にして、基盤とキャリアがけんかしない機構としました。本件の場合板厚が厚いので比較的楽くと思います。
- 参考URL:
- http://fac9999.web.fc2.com/
お礼
ご回答有難うございます。大変参考になりました。 接触部を4角に限定する方法で何とか良い結果が出そうです。 今後とも宜しくお願い致します。