CVD ローディング トレイの材料

質問

HT-CVDの ローディング　トレイの材料にMoを使っています。
トレイはモリブデン板加工品です。

Mo使用の理由は
１．１０００℃までの加熱後、熱変形が無い。
２．加熱―冷却過程に不純物の影響が無い。

ところが、Moは高価なのでコストダウン出来る材料を探しています。
皆さん、教えて下さい。

２．加熱―冷却過程に不純物の影響が無い。：”不純物が出て来ない。”　です。

回答No.1

noname#230359

1000℃なら、インコネルなどのNi基超耐熱合金でしょう。
しかし、これらが少量で発注出来るのか確認が必要と思います。

セラミックスなら、炭化ケイ素 SiCとか窒素ケイ素 Si3N4などもっと選択肢が拡がり、しかも作り方を考えると、金属よりも柔軟に対応してくれる可能性があると思います。

参考URL：

http://www.jutem.co.jp/nyumon/wakariyasui.html http://www.dsml.co.jp/pages/products_chogokin.htm

お礼

岩魚内 さん、アドバイス有り難うございました。
大変参考になりました。