バンプボンドで起きるボール台座部の汚れとは？対策方法はある？

2007/04/22 16:07

このQ&Aのポイント

バンプボンドのボール台座部(キャピラリチャンファー部)は、使用していくうちに汚れてしまう問題があります。
不具合前は２ウエハーに１度キャピラリを交換していたが、現在は１ウエハー半分位で不具合前とは比べ物にならないほど台座表面が汚くなってしまいます。
Au線の製造工程によって汚れが発生し、それがボール台座部の汚れの原因となっています。対策としては、Au線の交換や清掃などが考えられます。

noname#230358

電子部品・基板部品
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noname#230359

2007/04/22 19:29 回答No.2

こんにちは。先ず質問にあります、「Ａｕ線が汚れていて」についてですが、私の経験上、Ａｕ線製造工程における汚染での汚れ付着起因は殆どありません。（あくまでの国内メーカー使用でのお話ですが）但し、金線表面に塗布している「潤滑剤」が大別して２つありますのでその種類によって、汚れ付着度が変化します。汚れ度は以下の通りです。　植物油系＞界面活性剤系但し、これが要因であれば「使用当初」から安定的に汚れると思われますので、これが要因ではない様に思えます。大半は「その他外的要因」によるものです。・環境面　　　　　→室内汚染（クリーンルームでない）・作業面　　　　　→素手での作業（素手での作業）・ボンディング面　→ボンディングする箇所の汚染・装置　　　　　　→金線経路汚染・製造条件面　　　→強い条件（荷重、ＵＳ、時間）・キャピラリ　　　→表面状態一番多いのが「素手による作業」です。これは「キャピラリ交換」「金線交換」全てを指します。作業環境はいかがでしょうか？標準作業でも以外と「標準外」になっている場合があります。また製造条件によっても汚れ付着に差は出ます。当然「強い条件下」であれば物理的に付着物は多くなります。途中で変更されていませんか？異物がどの様なものであるかが、記載内容だけからでは判断できませんが、何れにせよ先ずは、キャピラリの異物について分析を行い、「特定する」ことが得策と考えます。また最短で問題可決するのであれば迷わず「金線メーカー」と「キャピラリーメーカー」双方へ相談してください。どちらも、こういった類の問題については、多くの知見を有していますので。以上

質問者

お礼 2007/04/22 21:20

早速の回答誠に有難う御座います。交換作業などはＣＲ用の手袋を使用しており作業者も慣れている人が行っております。条件につきましては量産当初から一切変更しておりません。ゴミが原因だとするとキャピラリ先端の分析をした方が良さそうですね。また、各メーカーにも問い合わせてみます。貴重な回答有難う御座いました。

noname#230359

2007/04/22 16:38 回答No.1

Aｕ線の汚れによるキャピラリ詰り等よくあることです｡使用中の金線を顕微鏡で見て異物や汚れがありませんか? あれば考えられる原因は2つ。?金線メーカーで付着させている。?ライン内の環境で汚染している。　?は、メーカーに現品を送り問い合わせることです｡メーカーで製造工程の変更等行われてないか聞く事です。?は、パーティクルカウンタ等で異物の量を計ったり調査するしかありません。　?の場合暫定的には金線のリールの巻いてある長さをメーカーで短くしてもらい小まめに交換することです。

質問者