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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：レジスト塗布について）
レジスト塗布について
このQ&Aのポイント
- レジスト塗布方法を紹介！110mm×110mmの40ミクロン厚の銅箔にレジストを塗布する手順とは？
- レジストの塗布方法を解説！110mm×110mmの銅箔に40ミクロン厚のレジストを均一に塗る手順をご紹介します。
- 110mm×110mmの銅箔に40ミクロン厚のレジストを塗る方法を詳しく解説！レジスト塗布の手順をお伝えします。
noname#230358
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noname#230359
回答No.1
No.２１８８９との関連が気になりますが、やはりレジスト塗布がマストでしょうか？マスキングフィルムはNGでしたか？ 切り出しサンプルのサイズおよび銅箔のサイズが許すのであれば、丸に切り出してスピンコートするのが良いと思います。その際、吸着用のチャックは丸と同じサイズにする必要があります。スピナーのメーカに問い合わせれば対応してくれると思います。 レジスト種類を問わないのであれば、ドライフィルムレジストをラミネートするのはいかがでしょうか？100℃前後、圧力1MPa前後の負荷はかかりますが。 現物は見たことありませんが、ディップコータ、スリットコータというのもあるそうです。スリットコータはかなり高精度で塗布できると聞いたことがあります。
お礼
スピンコートなんですが、レジストを多く無駄にしてしまうので今回は、 スピンコートをしないことにしました。マスキングフィルムもあまり気が進みませんでした。ドライフィルムレジストというものをやってみようと思います。１００度、１MPa程度でしたら大丈夫です。いろいろありがとうございます。