AlNについたCuを洗浄で落としたい

質問

真空成膜装置の基板ホルダーとしてAlNを使っています。
このAlNの上にCu膜がついているので、洗浄で落としたいのですが、
このような洗浄をやってくれる業者を探しています。
（おそらくウエット処理になると思います。AlNのダメージがどのくらいになるかが心配です。
また洗浄後、再び真空装置内にいれて、再度使用します。）

ご存知の方、教えてください。
よろしくお願いします。

回答No.5

noname#230359 · ベストアンサー

硫酸 2025vol%、過酸化水素 23vol%で、室温30℃で作業します。
反応で発熱しますので、冷却が必要かも知れません。温度が高くなると過酸化水素が自己分解して、暴走することもありますが、液に対する負荷がそんなに高いとも思えないので、まず大丈夫でしょう。

お礼

ご回答ありがとうございます。
まず試しに少しやってみます。
いろいろありがとうございました。

回答No.4

noname#230359

窒化アルミニウムなら、一般の酸に対しては安定だと思います。
硝酸とは書きましたが、亜硝酸ガスが発生するので余りお勧めできません。硫酸＋過酸化水素＋水は多少ミストが発生しますが、剥離速度が魅力です。
アンモニア水＋過酸化水素＋水も剥離速度で魅力的ですが、アンモニア臭と排水処理の困難さがついてきます。
よって、排気設備を用意して頂いて、硫酸＋過酸化水素系をお勧めします。

お礼

ご回答ありがとうございます。
できましたら具体的な硫酸＋過酸化水素の濃度、混合比、注意点など教えてください。

回答No.3

noname#230359

銅を溶解除去するのなら、単純に硝酸や、硫酸+過酸化水素水で可能です。
AINがどんな材料なのか判れば、もっと正確にお答えできるのですが。

補足

ご回答ありがとうございます。
AINではなくAlNです。（念のため）
一般的には以下のような特性のようです。
http://www.maruwacera.co.jp/e/seihin/pdf/catalog/aln/aln.pdf

回答No.2

noname#230359

物理的な研磨でも良いのですか？
ブラシで研磨可能です。
ブラシの選定、加工方法によっては基材を痛めずに研磨可能です。（膜よ基材の硬度差がある場合。）

ブラストでも同様です。

その他にも、ご興味が有ればご連絡下さい。

ご相談に乗ります。

参考URL：

http://www.ctktv.ne.jp/~s-nomura/public.htm

お礼

ご回答ありがとうございます。
残念ながら物理的な研磨はダメージが入るのでできません。
このAlNの表面には非常に微妙な加工がしてあるので、
傷がつく方法は問題があります。
それなので洗浄（塩化第二鉄？）がよいのですが...

回答No.1

noname#230359

洗浄で落とすとなると確かにダメージが心配だと思います。ですので、AlN基材上に溶射膜をつけてその上にCu膜を付けます。そうするとAlNにほとんどダメージを与える事無く除膜洗浄可能です。溶射膜でもいろいろな種類がありますので、目的に応じたものを適用できると思います。半導体や液晶のスパッタシールド等ではこの方法が主流となっています。
一度詳細お聞かせください。

補足

ご回答ありがとうございます。
このAlNにはなぜか溶射膜がついていません。
今となっては、なぜないかはわかりません。

ついていても問題はないのかもしれませんが、
特性が変化する可能性があるのが心配です。
それなので、今のところ溶射膜なしでいきたいのですが....