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装置からのパーティクルを低減させる資料

質問させて頂きます。 現在私は、ディスプレイ関係のパーティクルについて調べています。 クリーンルーム内で、生産する装置から出るパーティクルを低減させた例が載っている資料・HPなどを探しています。 半導体やディスプレイの経験がないので、困っています。 簡単なアドバイスでも構いません。 何かご存知の方がいらっしゃいましたら、教えて頂けると嬉しいです。 よろしくお願いします。

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  • isoworld
  • ベストアンサー率32% (1384/4204)
回答No.1

 クリーン度の高いクリーンルーム内でディスプレイを使用することを考えておられる(またはそのようなディスプレイの設計・製造を考えておられる)のでしょうか。  クリーンルーム専用のディスプレイを考えるのなら、まずディスプレイに使用する材料の検討が必要でしょうね。紙やガラス繊維のように、繊維や粒子が飛散しやすい材料は不向きだと思いますよ。  クリーンルーム内では常に空気を一定の方向に流してフィルターにかけ、清浄を行って微粒子を取り除いていますから、ディスプレイをクリーンルーム内に持ち込んだ最初はクリーン度が落ちても、やがては(ディスプレイから継続してパーティクルが飛散しなければ)空気は綺麗になります。

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